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单晶硅长晶工艺

STC在长晶基础上进行单晶硅棒切割成型工艺。

STC采用直拉法(CZ)进行长晶工艺。将高纯度多晶硅和用来调节电阻率的掺杂剂一起放入石英坩埚中,
加热至1420摄氏度左右熔化。 然后,将一根籽晶放在熔化的硅表面,旋转拉动它们,而后形成与籽晶同样晶向的单晶硅片。

引き上げイメージ
长晶
単結晶インゴット
长晶

单晶硅棒切割成型工艺

将单晶硅棒切断成几段,并做外径滚磨至合适的直径。

円筒加工前
切割