抛光片制造工艺

单抛与双抛。

贴合

为完成晶圆表面抛光，在晶圆表面贴合到抛光陶瓷抛光垫上。

镜面抛光

采用CMP工艺可生产出高平整度、高纯度的晶圆，这是一种高质量的抛光片。