ポリッシュドウェーハ加工

ウェーハの片面あるいは両面を鏡面加工します。

プレート接着

エッチング後のウェーハを鏡面研磨するために、セラミックプレートにウェーハの片面を接着し固定します。

鏡面研磨

CMP作用により高平坦で不純物の無い高品質な鏡面に仕上げます。